Kedves power2001!
Elektronmikroszkóppal találkozni lehet a műszaki és természettudományi egyetemeken, főiskolákon, kutatóintézetekben, komolyabb orvosi laboratóriumokban, és még néhány más helyen. (Kötelező hallgatói laboratóriumi gyakorlatokat is végeznek rajtuk.)
Alapvetően két típusa van, a pásztázó (SEM, Scanning Electron Microscope), illetve a transzmissziós (TEM, Transmission Electron Microscope). Ezek maximális felbontása különbözik.
- A SEM úgy működik, hogy egy nagyon jól fókuszált, 500 - 50 000 V feszültséggel gyorsított elektronnyalábbal letapogatják a minta felületét, mérve a különféle keletkező jeleket (pl. a kilépő szekunder elektronokat). A mérés során a mintának vákuumban kell lennie, minthogy az elektronsugarat is csak vákuumban tudjuk megfelelően irányítani. (A mintának elektromosan vezetnie is kell, különben feltöltődne az elektronsugár hatására.) A SEM maximális felbontóképessége néhányszor 10 nm.
- A TEM meg úgy működik, hogy a fókuszált, 50 000 - 1000 000 V feszültséggel gyorsított elektronnyalábbal átvilágítjuk (az előzőleg elvékonyított) mintát. Az átvilágítás után leképezzük (mágneses lencsékkel) magát a mintát, vagy az elhajlási képét. A maximális felbontóképesség 0.1 nm (= 1 Angström) körül van, ezért a TEM-mel atomokat is láthatunk.
